無(wú)塵車間一般包括潔凈區(qū)、準(zhǔn)潔凈區(qū)和輔助區(qū)三部分。平面布置可以有以下幾種方式：

外廊環(huán)繞式:外廊可以有窗與無(wú)窗兼顧，既能方便客戶參觀也能放置設(shè)備，外窗要求為雙層密封窗，

內(nèi)廊式：無(wú)塵車間布置在外圍，走廊布置在內(nèi)部，可提高潔凈度，這種走廊的潔凈度級(jí)別與無(wú)塵車間潔凈度級(jí)別不相上下。

兩端式：潔凈區(qū)和準(zhǔn)潔凈區(qū)、輔助用房各設(shè)在兩邊。

核心式：主要體現(xiàn)在節(jié)省空間和縮短管線上，以潔凈區(qū)為核心，周圍布置輔助用房和隱蔽管道，有效避開了室外溫度對(duì)潔凈區(qū)的影響，可提高節(jié)能。